ບົດບາດການບົດທີ່ຊັດເຈນຂອງຜົງອະລູມິນາປະສົມສີນ້ຳຕານໃນອຸດສາຫະກໍາເຄິ່ງຕົວນໍາ
ໝູ່ເພື່ອນທັງຫຼາຍ, ມື້ນີ້ພວກເຮົາຈະມາລົມກັນກ່ຽວກັບບາງສິ່ງບາງຢ່າງທີ່ທັງຈິງຈັງ ແລະ ເຂົ້າໃຈງ່າຍ -ຜົງອະລູມິນາປະສົມສີນ້ຳຕານເຈົ້າອາດຈະບໍ່ເຄີຍໄດ້ຍິນກ່ຽວກັບມັນມາກ່ອນ, ແຕ່ຊິບທີ່ສຳຄັນ ແລະ ລະອຽດອ່ອນທີ່ສຸດໃນໂທລະສັບ ແລະ ໂມງອັດສະລິຍະຂອງເຈົ້າ, ກ່ອນທີ່ພວກມັນຈະຖືກຜະລິດອອກມາ, ອາດຈະໄດ້ຈັດການກັບມັນແລ້ວ. ການເອີ້ນມັນວ່າ "ຊ່າງເສີມຄວາມງາມຫຼັກ" ຂອງຊິບບໍ່ແມ່ນການເວົ້າເກີນຈິງ.
ຢ່າຈິນຕະນາການວ່າມັນເປັນເຄື່ອງມືທີ່ຫຍາບຄາຍຄືກັບຫີນລັບ. ໃນໂລກຂອງເຄິ່ງຕົວນຳ, ມັນມີບົດບາດທີ່ລະອຽດອ່ອນຄືກັບຊ່າງແກະສະຫຼັກຂະໜາດນ້ອຍທີ່ໃຊ້ມີດຜ່າຕັດຂະໜາດນາໂນ.
I. “ການແກະສະຫຼັກໃບໜ້າ” ຂອງຊິບ: ເປັນຫຍັງການຂັດຈຶ່ງເປັນສິ່ງຈຳເປັນ?
ກ່ອນອື່ນໝົດ, ໃຫ້ພວກເຮົາເຂົ້າໃຈສິ່ງໜຶ່ງຄື: ຊິບບໍ່ໄດ້ເຕີບໃຫຍ່ໂດຍກົງຢູ່ເທິງພື້ນທີ່ຮາບພຽງ. ພວກມັນຖືກ "ສ້າງ" ຊັ້ນຕໍ່ຊັ້ນເທິງແຜ່ນຊິລິໂຄນທີ່ບໍລິສຸດທີ່ສຸດ (ສິ່ງທີ່ພວກເຮົາເອີ້ນວ່າ "ແຜ່ນ"), ຄືກັບການກໍ່ສ້າງອາຄານ. "ອາຄານ" ນີ້ມີຫຼາຍສິບຊັ້ນ, ແລະວົງຈອນໃນແຕ່ລະຊັ້ນແມ່ນບາງກວ່າໜຶ່ງພັນສ່ວນຂອງຄວາມໜາຂອງຜົມຄົນ.
ສະນັ້ນບັນຫາຄື: ເມື່ອທ່ານກຳລັງກໍ່ສ້າງພື້ນໃໝ່, ຖ້າພື້ນຖານ - ໜ້າດິນຂອງພື້ນກ່ອນໜ້ານີ້ - ບໍ່ສະເໝີກັນເລັກນ້ອຍ, ເຖິງແມ່ນວ່າຈະມີສ່ວນຍື່ນອອກມານ້ອຍເທົ່າກັບອະຕອມ, ມັນສາມາດເຮັດໃຫ້ອາຄານທັງໝົດບິດເບືອນ, ລັດວົງຈອນ, ແລະເຮັດໃຫ້ຊິບບໍ່ສາມາດໃຊ້ໄດ້. ການສູນເສຍບໍ່ແມ່ນເລື່ອງຕະຫຼົກ.
ດັ່ງນັ້ນ, ຫຼັງຈາກແຕ່ລະຊັ້ນສຳເລັດແລ້ວ, ພວກເຮົາຕ້ອງດຳເນີນການ "ທຳຄວາມສະອາດ" ແລະ "ປັບລະດັບ" ຢ່າງລະອຽດ. ຂະບວນການນີ້ມີຊື່ທີ່ແປກໃໝ່ວ່າ: "ການປັບລະດັບດ້ວຍເຄມີ ແລະ ກົນຈັກ," ຫຍໍ້ເປັນ CMP. ໃນຂະນະທີ່ຊື່ຟັງແລ້ວສັບສົນ, ແຕ່ຫຼັກການດັ່ງກ່າວບໍ່ຍາກທີ່ຈະເຂົ້າໃຈ: ມັນເປັນການປະສົມປະສານຂອງການກັດກ່ອນດ້ວຍເຄມີ ແລະ ການຂັດຖູດ້ວຍກົນຈັກ.
“ເຄື່ອງພົ່ນ” ທາງເຄມີໃຊ້ນ້ຳຢາຂັດພິເສດເພື່ອເຮັດໃຫ້ວັດສະດຸທີ່ຈະຖືກກຳຈັດອອກອ່ອນລົງ ແລະ ກັດກ່ອນ, ເຮັດໃຫ້ມັນ “ອ່ອນນຸ້ມ” ຂຶ້ນ.
“ການຕີ” ແບບກົນຈັກເຂົ້າມາມີບົດບາດ—ຜົງໂຄຣັນດຳສີນ້ຳຕານໜ້າທີ່ຂອງມັນຄືການໃຊ້ວິທີການທາງກາຍະພາບເພື່ອ "ຂູດ" ວັດສະດຸທີ່ຖືກ "ເຮັດໃຫ້ອ່ອນລົງ" ໂດຍຂະບວນການທາງເຄມີອອກຢ່າງຖືກຕ້ອງ ແລະ ສະເໝີພາບ.
ເຈົ້າອາດຈະຖາມວ່າ, ດ້ວຍນໍ້າຢາຂັດຫຼາຍຊະນິດທີ່ມີຢູ່, ເປັນຫຍັງຕ້ອງໃຊ້ອັນນີ້ໂດຍສະເພາະ? ນັ້ນແມ່ນບ່ອນທີ່ຄຸນນະພາບທີ່ໂດດເດັ່ນຂອງມັນເຂົ້າມາ.
II. “ຜົງທີ່ມີໄມໂຄຣໄນສ໌ທີ່ບໍ່ຖືກໄມໂຄຣໄນສ໌ຫຼາຍ”: ທັກສະທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງອາລູມິນາປະສົມສີນ້ຳຕານ
ໃນອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳ, ຜົງອະລູມິນາປະສົມສີນ້ຳຕານທີ່ໃຊ້ແລ້ວບໍ່ແມ່ນຜະລິດຕະພັນທຳມະດາ. ມັນເປັນໜ່ວຍງານ "ກຳລັງພິເສດ", ຄັດເລືອກ ແລະ ປັບປຸງຢ່າງລະອຽດ.
ທຳອິດມັນຍາກພໍສົມຄວນ, ແຕ່ບໍ່ແມ່ນແບບບໍ່ລະມັດລະວັງ.ອະລູມິນາປະສົມສີນ້ຳຕານຄວາມແຂງຂອງມັນແມ່ນສອງຮອງຈາກເພັດ, ເຊິ່ງຫຼາຍກວ່າພຽງພໍທີ່ຈະຈັດການກັບວັດສະດຸຊິບທີ່ໃຊ້ທົ່ວໄປເຊັ່ນ: ຊິລິໂຄນ, ຊິລິໂຄນໄດອອກໄຊ, ແລະ ທັງສະເຕນ. ແຕ່ສິ່ງສຳຄັນແມ່ນຄວາມແຂງຂອງມັນແມ່ນຄວາມແຂງທີ່ "ທົນທານ". ບໍ່ເຫມືອນກັບວັດສະດຸທີ່ແຂງກວ່າບາງຊະນິດ (ເຊັ່ນ: ເພັດ) ທີ່ແຕກຫັກງ່າຍພາຍໃຕ້ຄວາມກົດດັນ, ອາລູມິນາປະສົມສີນ້ຳຕານຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງມັນໃນຂະນະທີ່ຮັບປະກັນແຮງຕັດ, ຫຼີກລ່ຽງການກາຍເປັນ "ອົງປະກອບທີ່ທຳລາຍ".
ອັນທີສອງ, ຂະໜາດອະນຸພາກແຄບຂອງມັນຮັບປະກັນການຕັດທີ່ສະໝໍ່າສະເໝີ. ນີ້ແມ່ນຈຸດທີ່ສຳຄັນທີ່ສຸດ. ລອງນຶກພາບເບິ່ງວ່າພະຍາຍາມຂັດແກ້ວປະເສີດດ້ວຍກ້ອນຫີນທີ່ມີຂະໜາດແຕກຕ່າງກັນ. ກ້ອນຫີນຂະໜາດໃຫຍ່ກວ່າຈະເຮັດໃຫ້ເກີດຂຸມເລິກຢ່າງຫຼີກລ່ຽງບໍ່ໄດ້, ໃນຂະນະທີ່ກ້ອນຫີນຂະໜາດນ້ອຍກວ່າອາດຈະນ້ອຍເກີນໄປທີ່ຈະເຮັດວຽກໄດ້. ໃນຂະບວນການ CMP (ການຂັດດ້ວຍເຄມີກົນຈັກ), ນີ້ແມ່ນສິ່ງທີ່ບໍ່ສາມາດຍອມຮັບໄດ້ຢ່າງສິ້ນເຊີງ. ຜົງອະລູມິນາປະສົມສີນ້ຳຕານທີ່ໃຊ້ໃນເຄິ່ງຕົວນຳຕ້ອງມີການແຈກຢາຍຂະໜາດອະນຸພາກທີ່ແຄບຫຼາຍ. ນີ້ໝາຍຄວາມວ່າອະນຸພາກເກືອບທັງໝົດມີຂະໜາດປະມານດຽວກັນ. ສິ່ງນີ້ຮັບປະກັນວ່າອະນຸພາກຜົງຫຼາຍພັນອະນຸພາກເຄື່ອນທີ່ພ້ອມກັນຢູ່ເທິງໜ້າດິນແຜ່ນເວເຟີ, ໃຊ້ແຮງກົດດັນທີ່ສະໝໍ່າສະເໝີເພື່ອສ້າງໜ້າດິນທີ່ບໍ່ມີຂໍ້ບົກຜ່ອງ, ບໍ່ແມ່ນໜ້າດິນທີ່ມີຮອຍດ່າງ. ຄວາມແມ່ນຍຳນີ້ແມ່ນຢູ່ໃນລະດັບນາໂນແມັດ.
ອັນທີສາມ, ມັນເປັນຕົວແທນທີ່ "ຊື່ສັດ" ທາງເຄມີ. ການຜະລິດຊິບໃຊ້ສານເຄມີຫຼາກຫຼາຍຊະນິດ, ລວມທັງສະພາບແວດລ້ອມທີ່ເປັນກົດ ແລະ ເປັນດ່າງ. ຜົງອະລູມິນາປະສົມສີນ້ຳຕານມີຄວາມໝັ້ນຄົງທາງເຄມີຫຼາຍ ແລະ ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາກັບສ່ວນປະກອບອື່ນໆໃນນ້ຳຢາຂັດເງົາໄດ້ງ່າຍ, ເຊິ່ງປ້ອງກັນການນຳເອົາສິ່ງເຈືອປົນໃໝ່ເຂົ້າມາ. ມັນຄືກັບພະນັກງານທີ່ເຮັດວຽກໜັກ ແລະ ບໍ່ອວດດີ - ບຸກຄົນທີ່ນາຍຈ້າງ (ວິສະວະກອນ) ມັກ.
ອັນທີສີ່, ຮູບຮ່າງຂອງມັນສາມາດຄວບຄຸມໄດ້, ຜະລິດອະນຸພາກທີ່ "ລຽບ". ຜົງອະລູມິນາສີນ້ຳຕານທີ່ທັນສະໄໝສາມາດຄວບຄຸມ "ຮູບຮ່າງ" (ຫຼື "ຮູບຮ່າງ") ຂອງອະນຸພາກໄດ້. ຜ່ານຂະບວນການພິເສດ, ອະນຸພາກທີ່ມີຂອບແຫຼມສາມາດປ່ຽນເປັນຮູບຮ່າງໃກ້ກົມ ຫຼື ຮູບຊົງຫຼາຍໜ້າ. ອະນຸພາກທີ່ "ລຽບ" ເຫຼົ່ານີ້ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຜົນກະທົບຂອງ "ຮ່ອງ" ຕໍ່ໜ້າດິນແຜ່ນເວເຟີໃນລະຫວ່າງການຕັດ, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຂອງຮອຍຂີດຂ່ວນໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.
III. ການນຳໃຊ້ໃນໂລກຕົວຈິງ: “ການແຂ່ງຂັນທີ່ງຽບສະຫງົບ” ໃນສາຍການຜະລິດ CMP
ໃນສາຍການຜະລິດ CMP, ແຜ່ນເວເຟີຈະຖືກຍຶດໄວ້ຢ່າງແໜ້ນໜາດ້ວຍຫົວສີດສູນຍາກາດ, ໜ້າດິນລົງ, ກົດໃສ່ແຜ່ນຂັດທີ່ໝຸນໄດ້. ນ້ຳຢາຂັດທີ່ມີຜົງອະລູມິນາປະສົມສີນ້ຳຕານຈະຖືກສີດຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຄືກັບໝອກລະອຽດລະຫວ່າງແຜ່ນຂັດແລະແຜ່ນເວເຟີ.
ໃນຈຸດນີ້, “ການແຂ່ງຂັນຄວາມແມ່ນຍຳ” ໃນໂລກກ້ອງຈຸລະທັດຈະເລີ່ມຕົ້ນຂຶ້ນ. ອະນຸພາກຜົງອະລູມິນາສີນ້ຳຕານຫຼາຍພັນລ້ານອະນຸພາກ, ພາຍໃຕ້ຄວາມກົດດັນ ແລະ ການໝູນວຽນ, ປະຕິບັດການຕັດລະດັບນາໂນແມັດຫຼາຍລ້ານຕໍ່ວິນາທີເທິງໜ້າດິນແຜ່ນເວເຟີ. ພວກມັນຕ້ອງເຄື່ອນໄຫວພ້ອມກັນ, ຄືກັບກອງທັບທີ່ມີລະບຽບວິໄນ, ກ້າວໄປຂ້າງໜ້າຢ່າງລຽບງ່າຍ, “ເຮັດໃຫ້ພື້ນທີ່ສູງຮາບພຽງ” ແລະ “ປ່ອຍໃຫ້ພື້ນທີ່ຕ່ຳຫວ່າງເປົ່າ”.
ຂະບວນການທັງໝົດຕ້ອງອ່ອນໂຍນຄືກັບລົມພັດໃນລະດູໃບໄມ້ປົ່ງ, ບໍ່ແມ່ນພາຍຸທີ່ຮຸນແຮງ. ແຮງທີ່ເກີນຂອບເຂດສາມາດຂູດຂີດ ຫຼື ສ້າງຮອຍແຕກຂະໜາດນ້ອຍໄດ້ (ເອີ້ນວ່າ "ຄວາມເສຍຫາຍພາຍໃຕ້ພື້ນຜິວ"); ແຮງທີ່ບໍ່ພຽງພໍນຳໄປສູ່ປະສິດທິພາບຕ່ຳ ແລະ ລົບກວນຕາຕະລາງການຜະລິດ. ດັ່ງນັ້ນ, ການຄວບຄຸມທີ່ຊັດເຈນກ່ຽວກັບຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນ, ຂະໜາດຂອງອະນຸພາກ, ແລະ ຮູບຮ່າງຂອງຜົງອະລູມິນາປະສົມສີນ້ຳຕານຈະກຳນົດຜົນຜະລິດ ແລະ ປະສິດທິພາບຂອງຊິບສຸດທ້າຍໂດຍກົງ.
ຕັ້ງແຕ່ການຂັດເງົາຫຍາບໆໃນເບື້ອງຕົ້ນຂອງແຜ່ນຊິລິກອນ, ຈົນເຖິງການເຮັດໃຫ້ແຕ່ລະຊັ້ນສນວນເປັນຮູບປະທຳ (ຊິລິກອນໄດອອກໄຊດ໌), ແລະສຸດທ້າຍຈົນເຖິງການຂັດເງົາຂອງປລັກທັງສະເຕນ ແລະ ສາຍທອງແດງທີ່ໃຊ້ສຳລັບເຊື່ອມຕໍ່ວົງຈອນ, ຜົງອະລູມິນາປະສົມສີນ້ຳຕານແມ່ນສິ່ງທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ໃນເກືອບທຸກຂັ້ນຕອນການເຮັດໃຫ້ຮູບປະທຳທີ່ສຳຄັນ. ມັນແຊກຊຶມເຂົ້າໄປໃນຂະບວນການຜະລິດຊິບທັງໝົດ, ເຊິ່ງເປັນ "ວິລະຊົນທີ່ຢູ່ເບື້ອງຫຼັງ" ຢ່າງແທ້ຈິງ.
IV. ສິ່ງທ້າທາຍ ແລະ ອະນາຄົດ: ບໍ່ມີສິ່ງທີ່ດີທີ່ສຸດ, ມີແຕ່ສິ່ງທີ່ດີກວ່າ
ແນ່ນອນ, ເສັ້ນທາງນີ້ບໍ່ມີວັນສິ້ນສຸດ. ໃນຂະນະທີ່ຂະບວນການຜະລິດຊິບກ້າວໜ້າຈາກ 7nm ແລະ 5nm ເປັນ 3nm ແລະແມ້ກະທັ້ງຂະໜາດນ້ອຍກວ່າ, ຄວາມຕ້ອງການສຳລັບຂະບວນການ CMP ໄດ້ບັນລຸລະດັບ "ສຸດຂີດ". ສິ່ງນີ້ສະແດງໃຫ້ເຫັນເຖິງສິ່ງທ້າທາຍທີ່ຍິ່ງໃຫຍ່ກວ່າເກົ່າສຳລັບຜົງອະລູມິນາປະສົມສີນ້ຳຕານ:
ລະອຽດກວ່າ ແລະ ເປັນເອກະພາບກວ່າ:ຜົງຈຸລະພາກໃນອະນາຄົດອາດຈະຕ້ອງໄປຮອດຂະໜາດຫຼາຍສິບນາໂນແມັດ, ໂດຍມີການແຈກຢາຍຂະໜາດຂອງອະນຸພາກເປັນເອກະພາບຄືກັບວ່າຖືກກອງດ້ວຍເລເຊີ.
ເຮັດຄວາມສະອາດ: ສິ່ງເຈືອປົນຂອງໄອອອນໂລຫະໃດໆກໍ່ເປັນອັນຕະລາຍເຖິງຊີວິດ, ເຊິ່ງນຳໄປສູ່ຄວາມຕ້ອງການຄວາມບໍລິສຸດທີ່ສູງຂຶ້ນເລື້ອຍໆ.
ໜ້າທີ່: “ຜົງຈຸລະພາກອັດສະລິຍະ” ຈະປາກົດຂຶ້ນໃນອະນາຄົດບໍ? ຕົວຢ່າງ, ດ້ວຍພື້ນຜິວທີ່ຖືກດັດແປງເປັນພິເສດ, ພວກມັນສາມາດປ່ຽນແປງລັກສະນະການຕັດພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂສະເພາະ, ຫຼືບັນລຸໜ້າທີ່ທີ່ຄົມດ້ວຍຕົນເອງ, ຫຼໍ່ລື່ນດ້ວຍຕົນເອງ, ຫຼືໜ້າທີ່ອື່ນໆ?
ດັ່ງນັ້ນ, ເຖິງວ່າຈະມີຕົ້ນກຳເນີດມາຈາກອຸດສາຫະກຳຂັດແບບດັ້ງເດີມ, ຜົງອະລູມິນາປະສົມສີນ້ຳຕານໄດ້ຜ່ານການຫັນປ່ຽນທີ່ງົດງາມເມື່ອມັນເຂົ້າສູ່ຂະແໜງການເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ທັນສະໄໝ. ມັນບໍ່ແມ່ນ "ຄ້ອນຕີ" ອີກຕໍ່ໄປ, ແຕ່ເປັນ "ມີດຜ່າຕັດລະດັບນາໂນ". ພື້ນຜິວທີ່ລຽບນຽນຢ່າງສົມບູນແບບຂອງຊິບແກນໃນທຸກໆອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ກ້າວໜ້າທີ່ພວກເຮົາໃຊ້ແມ່ນມີຢູ່ຍ້ອນອະນຸພາກນ້ອຍໆທີ່ນັບບໍ່ຖ້ວນ.
ນີ້ແມ່ນໂຄງການທີ່ຍິ່ງໃຫຍ່ທີ່ດຳເນີນຢູ່ໃນໂລກຈຸລະທັດ, ແລະຜົງອະລູມິນາປະສົມສີນ້ຳຕານແມ່ນຊ່າງຝີມືທີ່ດີເລີດທີ່ງຽບສະຫງົບແຕ່ຂາດບໍ່ໄດ້ຢ່າງບໍ່ຕ້ອງສົງໃສໃນໂຄງການນີ້.